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ASMLとTSMC、2033年までの12インチフォトマスク導入に向けた業界連携を主導
1件の報道·公開 ·出来事 ·主な出典 · The Register
この記事の要点
ASML、TSMC、インテル・ファウンドリ、サムスン電子
グローバル
2026年9月
元の記事
ASMLとTSMCは、高NA EUVリソグラフィ向けに12インチフォトマスクへの移行を目指す共同プロジェクトを開始した。
2031年までにパイロットラインを構築し、2033年までの量産体制確立を目指す。
インテルやサムスンもこの取り組みに賛同しており、ファブの生産性向上とコスト削減を狙う。
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